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二硅化鈷 Cobalt disilicide(CoSi2)
產品名稱:二硅化鈷(CoSi2) 規(guī)格:0.8-10um(D50)   形貌:不規(guī)則 顏色:黑灰色  特點:電阻率低、良好的熱穩(wěn)定性 用途:大規(guī)模集成電路
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產品詳情
二硅化鈷 Cobalt disilicide(CoSi2)

產品名稱:二硅化鈷(CoSi2

規(guī)格:0.8-10um(D50)  

形貌:不規(guī)則

顏色:黑灰色 

特點:電阻率低、良好的熱穩(wěn)定性

用途:大規(guī)模集成電路

 

中文名稱:硅化鈷
化學式:CoSi2
分子量:115.104
CAS號:12017-12-8
EINECS號:234-616-8
密度:5.3g/cm3
熔點:1277℃
晶格常數:a=0.535nm
晶系:立方系結晶
外觀:呈灰色的硅化物陶瓷粉末
溶解性:不溶于水

性質與穩(wěn)定性:遵照規(guī)格使用和儲存則不會分解。CoSi2可與熱的鹽酸作用,溶于鹽酸,不溶于硫酸。能被王水、濃硝酸、強堿溶液及熔融的氫氧化堿和碳酸堿所侵蝕??膳c硫化氫、氟化氫、氯化氫、氟、氯等發(fā)生化學反應。
合成方法:
按照CoSi2的化學組成比將鈷粉與硅粉混合均勻,在隔絕空氣的條件下將其熔融,并在1150℃的溫度下保溫100h,使其充分均質化,產物為接近單一相的CoSi2。
用途:硅化鈷粉末具有電阻率低、熱穩(wěn)定性好等特點,主要用于大規(guī)模集成電路。此外,硅化鈷具有類似于硅的晶體結構,因此可以在硅襯底上形成外延CoSi2/Si結構,以研究外延金屬硅的界面特性。硅化鈷(cosix)是金屬與半導體連接所廣泛所采用的材料,其作為半導體之基電極與金屬導線之間的連接(inter-connect)在器件中工作。
貯存方法:保存于干燥、陰涼的環(huán)境中,不宜暴露空氣中,防受潮發(fā)生氧化團聚,影響分散性能和使用效果。

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